德國普發(fā)真空氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 340分子泵故障燈亮檢修
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒有工作
有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無法啟動。檢查導(dǎo)致壓力過高的項目有：真空規(guī)管是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉(zhuǎn)動，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動。
2、分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險絲燒斷，更換保險絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。
3、分子泵故障燈亮
檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置，此時應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。
4、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)
檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應(yīng)。
5、檢漏鍵無效(指示燈不亮)
I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時氦質(zhì)譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號，而不接受遙控器信號，檢漏鍵無效。
氦質(zhì)譜檢漏儀自動校準結(jié)束時出現(xiàn)的故障
自動校準失敗(燈絲亮)紅色校準燈亮。首先檢查自動校準設(shè)置，開關(guān)S1是否處于OFF位置，所設(shè)置的漏率值和標準漏孔值是否一致。溫度傳感器是否接上;其次是檢查靈敏度，清洗質(zhì)譜室(如果用外部校準漏孔檢查顯示值和實際值一致，氦質(zhì)譜檢漏儀也可使用)。
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